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湿加热、冷却设备 |
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为了确保工作中无污染出现，本公司的红外线石英加热器液体接触部位，一律为高纯度石英。红外线加热灯管为其提供所需的热能。
该加热器一方面， 100%石英构造保证了各种不同的SC-1 和SC-2 溶液的加热，包括盐酸/双氧水混合液、铵/双氧水混合液、硫酸/双氧水混合液、磷酸、硫酸和高纯DI水。
另一方面，铁氟龙(PTFE)密闭壳体提供了防腐、免维修/保养和二级屏障的作用，壳体排气接口将多余的热导出液体加热器套。
该加热器配有超温保护器，满足GFP、SEMI S2安全指标。为了确保加热器高效、安全地运作，可以考虑添加泄漏探测器。
集上述各项功能于一身的H2OT SHOT超高纯石英化学加热器，体积不到12×12×24in3，是你理想的液体加热器或其它需要超高纯加热器应用的场合。
产品性能和优点：
显著的清洁性：100％高纯石英构造，使其操作环境极其清洁。无离子或细菌污染。
可靠性：与常规设计相比，本公司具有专利的冷却系统大大延长了加热器加热元件的使用寿命。因为冷却气体只作用在所需的地方（红外线加热灯管插口），所以用最少量的气体，达到最大的冷却效果，从而获得最大的加热效率。
节约使用成本：在不不间断化学溶液继续流通的情况下，加热元件可就地更换，显著地降低了加热器生命周期内的使用成本和化学溶液费用。
反应灵敏：因为卤素灯具有瞬间启动和快速反应的特点，所以在不同的流速下，有良好的温度稳定性。
压降小：高循环情况下，其独特的构造使压降最小。
易于维修/保养，工作停机时间最少：插入式的加热元件设计，使其更换只需几分钟，因为不用触动液体连接部分，系统也无需重新校对。
“安全”设计：因为加热元件与被加热体是隔离的，所以也就不存在灾难污染的可能。
- 二级屏障：铁氟龙壳体也是一个免维修/保养的次级防护屏障，帮助保护周遭环境免受化学液体的溅落。另外，有泄漏探测器作为选项。
- 结构紧凑：安装占地面小。
- 无死区: 液体切线流动消除了加热器内的死角。如安装正确，还可以自动排流和自动通气。
- 无“O”型密封圈: 消除了与污染有关的“O”型密封圈，并确保工作无泄漏。
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